| 发明名称 |
MICROWAVE INTERFERENCE GAUGE FOR PLASMA DENSITY DIAGNOSIS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55156844(A) |
申请公布日期 |
1980.12.06 |
| 申请号 |
JP19790063948 |
申请日期 |
1979.05.25 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRONICS;HITACHI LTD |
发明人 |
HIROYA HIKARI;MOMO TAROU |
| 分类号 |
G01N22/00;G01N21/45;H05H1/00 |
主分类号 |
G01N22/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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