| 摘要 |
직경 100 ㎜ 이상, 길이 1000 ㎜ 이상인 원통형 타겟이, 분할선이 원주 방향이 되도록 3 개 이상의 타겟 피스 A 로 분할되어 있고, 이 분할 타겟 피스 A 를 원통 형상 또는 원주 형상의 백킹체 상에 첩합하거나 또는 설치하여 스퍼터링 타겟-백킹 튜브 접합체 B 를 구성하고, 나아가 이 접합체 B 를 폭방향으로 2 개 이상 정렬시킨 스퍼터링 타겟 조립체로서, 각개의 접합체 B 를 스퍼터링 타겟 조립체로 하여 배열할 때에, 접합체 B 에 존재하는 3 개의 타겟 피스간의 분할선이, 인접하는 분할 타겟 피스간의 분할선과 동일한 위치가 되지 않도록 설치하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟 조립체. 피스 접착부에서 기인되는 파티클 발생으로 인한 불량을 저감할 수 있는 스퍼터링 타겟 어셈블리, 특히 FPD 용 스퍼터링 타겟 조립체를 제공하는 것을 과제로 한다. |
