| 摘要 |
본 발명의 단결정 사파이어 잉곳 성장장치는 성장로와, 지지축부와, 이송부로 이루어지며; 상기 성장로는 성장로 본체와, 도가니로 이루어지며; 상기 성장로 본체는 상향 개구된 중공체로 구비되며; 상기 도가니는 공급된 원료가 용융되며, 상향 개구된 용기로 구비되며; 상기 지지축부는 복수의 이송부 사이에 구비되며; 상기 지지축부는 폴과, 폴을 회전시키는 폴회전장치로 이루어지며; 상기 폴은 상하 방향으로 연장 구비되며, 상기 이송부와 연결 구비되며; 상기 폴회전장치는 상기 폴에 연결 구비되며; 상기 이송부는 원주 방향으로 이격되어 복수로 구비되며; 상기 이송부는 냉각챔버가 구비되며, 어느 하나의 이송부의 냉각챔버가 상기 성장로 본체와 결합되어 상기 이송부에 구비된 잉곳로드가 상향 이동하여 잉곳이 성장되며; 성장된 잉곳은 상승하면서 냉각챔버 내로 위치하며, 상기 냉각챔버와 함께 이송되는 것을 특징으로 하는 단결정 사파이어 잉곳 성장장치에 관한 것이다. |
