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发明名称
POSITIVE TYPE RESIST
摘要
申请公布号
JPS5638039(A)
申请公布日期
1981.04.13
申请号
JP19790113706
申请日期
1979.09.05
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TODA KAZUO
分类号
G03F7/004;G03C1/72;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/302
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
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