发明名称 STOCKER
摘要 스토커가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커는, 스토커 본체; 스토커 본체에 설치되며, 주행레일을 따라 스토커 본체를 왕복운동가능하게 하는 주행유닛; 및 스토커 본체에 설치되며, 제동 또는 감속 시 스토커 본체를 하방으로 이동시켜 스토커 본체의 일측이 들리는 노즈다운(nose down) 현상을 방지하는 노즈다운 방지유닛을 포함한다.
申请公布号 KR101676718(B1) 申请公布日期 2016.11.17
申请号 KR20150034416 申请日期 2015.03.12
申请人 주식회사 에스에프에이 发明人 지근희;조성현;박장수
分类号 H01L21/677;B65G1/04;B65G49/06;B66F9/07 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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