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发明名称
STOCKER
摘要
스토커가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커는, 스토커 본체; 스토커 본체에 설치되며, 주행레일을 따라 스토커 본체를 왕복운동가능하게 하는 주행유닛; 및 스토커 본체에 설치되며, 제동 또는 감속 시 스토커 본체를 하방으로 이동시켜 스토커 본체의 일측이 들리는 노즈다운(nose down) 현상을 방지하는 노즈다운 방지유닛을 포함한다.
申请公布号
KR101676718(B1)
申请公布日期
2016.11.17
申请号
KR20150034416
申请日期
2015.03.12
申请人
주식회사 에스에프에이
发明人
지근희;조성현;박장수
分类号
H01L21/677;B65G1/04;B65G49/06;B66F9/07
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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