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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5688318(A) 申请公布日期 1981.07.17
申请号 JP19800162737 申请日期 1980.11.20
申请人 GEN ELECTRIC 发明人 BAANAADO ROBAATO TAFUTO
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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