| 摘要 |
L'invention concerne les capteurs d'image TDI. Pour assurer la directionalité du transfert de charges en colonne de pixel à pixel, on prévoit que les pixels adjacents d'une colonne comprennent chacun une photodiode (PHi) de largeur LP et une grille de stockage (Gi) de largeur LG en silicium polycristallin dopé, adjacente à la photodiode du pixel et adjacente à la photodiode (PHi+1) d'un pixel suivant de la colonne. La configuration du dopage de la couche active est unique sur toute la largeur LP de la photodiode ; la configuration du dopage de la couche active est unique sur toute la largeur LG de la grille, et la grille en silicium polycristallin comporte deux types de dopage qui sont un dopage p++ sur une partie de la largeur LG, du côté où la grille est adjacente à la photodiode du pixel et un dopage n++ sur une autre partie de la largeur LG, du côté adjacent à la photodiode du pixel suivant. Cette différence de dopage de la grille crée dans la couche active une marche de potentiel qui assure la directionalité du transfert. |
