| 主权项 |
1﹒一种可减少冷流之感光组成物,它包含:(1)可加成聚合之烯属不饱和单体;(2)可藉光化辐射产生活化之启发系统;以及(3)含至少2重量%之由下列成份组成之共聚物的一种有机聚合物粘合剂;(i)30─60重量%之由﹒C2─12N─烷基丙烯醯胺及甲基丙烯醯胺、C1─4烷基(C2─4)胺烷基丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯,及彼等混合物所组成之共单体;(ii)12─18重量%之由丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸及当马酸、马来酸及当马酸之C1─4烷基半酯,及彼等混合物所组成之酸性共单体;以及(iii)20─55%之由C1─C12烷基丙烯酸酯、C1─C12烷基甲基丙烯酸酯、C2─4羟烷基丙烯酸酯、羟基硬脂醯丙烯酸酯、羟烷基甲基丙烯酸酯、羟基硬脂醯甲基丙烯酸酯、C1─4烷基C2─4胺烷基丙烯酸酯,及彼等混合物组成之可共聚合之共单体。2﹒如请求专利部份第1项之感光组成物,其中共聚物为粘合剂唯一的聚合物成份。3﹒如请求专利部份第1项之感光组成物,其中之共聚物系由合有40份重量之第三辛基丙烯醯胺、15份重量之丙烯酸、35份重量之甲基丙烯酸甲酯、5份重量之羟基丙烯酸丙酯及5份重量之第三丁基胺基甲基丙烯酸乙酯(tbutylaminoethylmethacrylate)的单体混合物制成。4﹒一种光阻元件(photoresist),它系由一薄层的感光组成物涂覆于可脱落之支持体(strippablesupport)而成,感光组成物具有较小的冷流性质,且包含:(1)可加成聚合之烯属不饱和单体;(2)可藉光化辐射产生活化之启发系统;以及(3)含至少2重量%之由下列成份组成之共聚物的一种有机聚合物粘合剂;(i)30─60重量%之由C2─12N─烷基丙烯醯胺及甲基丙烯醯胺、C1─4烷基(C2─4)胺烷基丙烯酸酯及甲基丙烯酵酯,及彼等混合物所组成之共单体;(ii)12─18重量%之由丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸及当马酸,马来酸及当马酸之C1─4烷基半酯,及彼等混合物所组成之酸性共单体;以及(iii)20─55%之由C1─C12烷基丙烯酸酯、C1─C12烷基甲基丙烯酸酯、C2─4羟烷基丙烯酸酯、羟基硬脂醯丙烯酸酯、羟烷基甲基丙烯酸酯、羟基硬脂醯甲基丙烯酸酯、C1─4烷基C2─4胺烷基丙烯酸酯,及彼等混合物所组成之可共聚合之共单体。5﹒如请求专利部份第4项之元件,其中共聚物系为粘合剂唯一之聚合物成份。6﹒如请求专利部份第4项之元件,其中之共聚物系由一含有40重量%之第三辛基丙烯醯胺、15重量%之丙烯酸、35重量%之甲基丙烯酸甲酯、5重量%之羟基丙烯酸丙酯及5重量%之第三丁基胺基甲基丙烯酸乙酯之单体混合物所制成。7﹒如请求专利部份第4项之元件,它具有保护性覆盖薄片(protectivecov─ersheet)。8﹒一种成卷之光阻元件,它系由一层薄的感光组成物涂覆于可脱落之支持体而成,卷体系于支持体之最外端形成,感光组成物具有较小的冷流性质且包含:(1)可加成聚合之烯属不饱和单体;(2)可藉光化辐射产生活化之启发系统;以及(3)含至少2重量%之由下列成份组成之共聚物的一种有机聚合物粘合剂;(i)30─60重量%之由C2─12N─烷基丙烯醯胺及甲基丙烯醯胺,C1─4烷基(C2─4)胺烷基丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯,及彼等混合物所组成之共单体;(ii)12─18重量%之由丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸及当马酸,马来酸及当马酸之C1─4烷基半酯,及彼等混合物所组成之酸性共单体;以及(iii)20─55%之由C1─C12烷基丙烯酸酯、C1─C12烷基甲基丙烯酸酯、C2─4羟烷基丙烯酸酯羟基硬脂醯丙烯酸酯、羟烷基甲基丙烯酸酯、羟基硬脂醯甲基丙烯酸酯、C1─4烷基C2─4胺烷基丙烯酸酯,及彼等混合物所组成之可共聚合之共单体。9﹒如请求专利部份第8项之光阻元件,它有一层薄的脱模物质(releasematerial)涂覆于可脱落支持体之反面。10﹒如请求专利部份第8项之光阻元件,其中具有一保护性覆盖薄片。 |
