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发明名称 APPARATUS FOR SUSCEPTOR TEMPERATURE VERIFICATION AND METHODS OF USE
摘要 반도체 웨이퍼를 프로세싱하기 위한 장치 및 방법들이 설명되며, 여기에서는, 센서(예를 들어, 접촉 열전쌍(contact thermocouple))가 가스 분배 어셈블리 내에 포지셔닝되어, 증착 이전에, 증착 동안 및/또는 증착 이후에 막 파라미터(film parameter) 및/또는 온도를 측정한다.
申请公布号 KR20160145747(A) 申请公布日期 2016.12.20
申请号 KR20167032119 申请日期 2015.04.17
申请人 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 发明人 유도브스키, 요제프;그리핀, 케빈
分类号 H01L21/67;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/683 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
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