| 摘要 |
레이저 펄스(160,170,172,180,190,192)로 전자 기판에 비아(30)를 형성하는 개선된 방법 및 장치는 하나 이상의 성형된 펄스(160,180)를 사용하여 기판에 손상을 피하고 시스템 처리량을 유지하면서 비아에 남아있는 파편을 감소시킬 수 있다. 성형된 펄스는 펄스의 지속시간의 50%보다 더 작고 펄스의 평균 파워보다 10% 더 높은 피크 파워를 가지는 파워 스파이크(166,186)를 특징으로 하는 레이저 펄스이다. 더 긴 지속시간의 펄스를 슬라이싱함으로써 성형된 펄스를 생성하는 방법 및 장치가 개시된다. |
