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发明名称
APPARATUS FOR COATING RESIST FILM
摘要
申请公布号
JPS57197069(A)
申请公布日期
1982.12.03
申请号
JP19810081278
申请日期
1981.05.29
申请人
FUJI XEROX KK
发明人
HOSOGAI KOUZOU
分类号
B05C11/08;H01L21/027
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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