VAPOR-PHASE EPITAXIAL GROWTH APPARATUS,申请号JP19810082454-传众专利搜索

发明名称	VAPOR-PHASE EPITAXIAL GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号	JPS57200292(A)	申请公布日期	1982.12.08
申请号	JP19810082454	申请日期	1981.06.01
申请人	NIPPON DENSHIN DENWA KOSHA	发明人	KOBAYASHI NAOKI;FUKUI TAKASHI;HORIKOSHI YOSHIHARU
分类号	C30B25/14;C30B25/02;H01L21/205	主分类号	C30B25/14
代理机构		代理人
主权项
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