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发明名称
摘要
申请公布号
JPS583589(B2)
申请公布日期
1983.01.21
申请号
JP19770034496
申请日期
1977.03.30
申请人
HITACHI LTD
发明人
SHIRATORI RYUJI;SATO HIROTAKA
分类号
H01J49/04;G01N27/62;H01J49/24
主分类号
H01J49/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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