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发明名称 HIGH-VACUUM ADAPTABLE AIR TYPE BEARING
摘要
申请公布号 JPS5857516(A) 申请公布日期 1983.04.05
申请号 JP19820117659 申请日期 1982.07.06
申请人 CONTROL DATA CORP 发明人 SEODOAA WAASU TATSUKAA
分类号 F16C32/06;B23Q1/00;B23Q1/38;B23Q1/62;G03F7/20;H01J37/20;H01L21/027;H05K13/00 主分类号 F16C32/06
代理机构 代理人
主权项
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