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发明名称
CASSETTE OF BASE PLATE
摘要
申请公布号
JPS5895812(A)
申请公布日期
1983.06.07
申请号
JP19810193491
申请日期
1981.12.01
申请人
NIHON KOUGAKU KOGYO KK
发明人
ABE NOBUTOSHI;KAKIZAKI YUKIO;KOBAYASHI JIROU
分类号
G03F7/20;H01L21/02;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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