| 摘要 |
블록 코폴리머를 사용하는 자기조직화 리소그래피에 있어서, 미크로상 분리에 요하는 어닐링 시간을 현저하게 단축하여 패턴형성의 스루풋을 향상시킬 수 있는 패턴형성용 자기조직화 조성물, 상기 조성물을 사용한 블록 코폴리머의 자기조직화에 의한 패턴형성방법 및 패턴을 제공한다. 하기 일반식(1)으로 표시되는 반복단위를 갖는 블록을 함유하는 블록 코폴리머와 유기용제를 함유하는 패턴형성용 자기조직화 조성물.상기 일반식(1) 중, X는 알킬기 또는 시클로알킬기를 나타낸다. n은 1∼5의 정수를 나타내고, n이 2 이상일 경우, X는 같거나 달라도 좋다. |
