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发明名称 PROCESS FOR PRODUCING ZINC OXIDE-BASED PIEZOMETRIC FILMS
摘要
申请公布号 SU1049573(A1) 申请公布日期 1983.10.23
申请号 SU19813244113 申请日期 1981.01.30
申请人 INST RADIOTEKH ELEKTRON 发明人 KOTELYANSKIJ IOSIF M,SU
分类号 (IPC1-7):C23C15/00 主分类号 (IPC1-7):C23C15/00
代理机构 代理人
主权项
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