Semiconductor device with an optical waveguide, and method of making such a device.

摘要

Dispositif avec un guide d'onde permettant la propagation de la lumière dans le domaine des longueurs d'onde situé de préférence entre 0,9 et 1,06 µm, réalisé sur un substrat (10) d'un matériau semiconducteur de préférende du groupe III-V monocristallin orienté préalablement recouvert d'une couche d'un matériau diélectrique (4), dans laquelle sont gravés des sillons (1), selon le schéma choisi pour l'implantation du guide. Le guide (3) est obtenu par croissance épitaxiale anisotrope du matériau semiconducteur III-V à partir du substrat, dans ces sillons, et est limité sur ses parties latérales et supérieures par des faces cristallographiques spécifiques de son orientation par rapport au plan de base du substrat. L'atténuation obtenue dans un tel guide est de l'ordre de 1 dB/cm pour une lumière de longueur d'onde 1,06 µm. Le domaine d'application est celui du couplage des fibres optiques conventionnelles avec les circuits actifs sur GaAs ainsi que la connectique optique sur un circuit intégré micro-optoélectrique.