Volatile dihydropyrazinyl and dihydropyrazine metal complexes

摘要

본 발명은 6개의 전자 리간드로서 광범위하게 다양한 금속과 배위되어 ALD 및 CVD 증착을 위한 휘발성 금속 착화합물을 얻을 수 있는 디하이드로피라지닐 음이온을 포함하는 조성물에 관한 것이다. 또한, 안정화 중성 리간드로서 금속에 배위될 수 있는 탈양성자화되지 않은 디하이드로피라진에 관한 것이다. 일 구체예에서, 조성물은 예를 들어, 루테늄 또는 코발트 금속 필름과 같은 금속 함유 박막의 증착을 위해 ALD 또는 CVD 고정 챔버로의 금속 디하이드로피라지닐 착화합물 전구체의 직접 액체 주입 전달을 위해 사용된다.