高圧ＢＦ３／Ｈ２混合物の製造

摘要

成分ガスでガス混合物供給容器を充填してガス混合物の精密組成を得るための方法であって、前記ガス混合物が少なくとも２つの成分ガスを含む方法を説明する。単一の供給源容器から複数の標的容器へ、または複数の供給源容器から単一の標的容器へガスを流すことを含むカスケード充填技術が使用され得る。本方法は、イオン注入用途の不純物ガス混合物、例えば、三フッ化ホウ素と水素の混合物を形成するために使用され得る。