一种电磁放气真空阀

摘要

一种电磁放气真空阀，属真空技术领域。为达到主阀与放气阀分开动作的工作目的而特别研制的。其特征之一是主阀与放气阀随控制电源的程序依次动作。以免开主阀时大气回冲入真空系统。其特征之二是当任一阀开、关后、电磁线圈即停电，以免线圈发热而缩短寿命，又利节能。本阀可用于与机械泵配套的真空系统上。

主权项

1、一种电磁放气真空阀。由阀体、阀盖、主阀、放气阀、电磁铁组成。其特征在于本阀具有分开动作的主阀[4][5]和放气阀[7][8]。