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发明名称 BURN-IN DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6126874(A) 申请公布日期 1986.02.06
申请号 JP19840149002 申请日期 1984.07.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YANO SHUICHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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