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经营范围
发明名称
NONCONTACT TYPE THIN-FILM EVAPORATOR
摘要
申请公布号
JPS6195296(A)
申请公布日期
1986.05.14
申请号
JP19840216222
申请日期
1984.10.17
申请人
HITACHI LTD
发明人
SAITO MICHIO
分类号
G21F9/08;G21F9/00
主分类号
G21F9/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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