| 发明名称 |
ENHANCEMENT OF SELECTIVETY OF VAPOR DEPOSITION TO SURFACE OFCONDUCTOR AND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS61113769(A) |
申请公布日期 |
1986.05.31 |
| 申请号 |
JP19850243017 |
申请日期 |
1985.10.31 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC CO |
发明人 |
ROBAATO UINSUTON SUTOORU;MAIKERU RISUREI MATSUKUROORII;RONARUDO HAABEI UIRUSON |
| 分类号 |
C23C16/02;C23C16/04;C23C16/14;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3105 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
