| 摘要 |
본 발명은, 적어도 하나의 기판을 코팅 재료의 적어도 하나의 스트림을 통하는 경로로 안내하기 위한 이동식 기판 홀더(2)를 갖는 진공 코팅 시스템에서 레이어 성질을 광학적으로 측정하기 위한 테스트 유리 교환기로서, 적어도 하나의 테스트 유리 요소를 위해 회전식 스핀들(4)에 견고하게 연결되고 그리고 회전식 스핀들(4)을 중심으로 기판 홀더(2)에 대해 회전될 수 있는 마운트(6)와, 한번에 하나의 테스트 유리 요소를 광학 측정 장치의 광선 경로에 그리고 코팅 재료의 적어도 하나의 스트림에 도입하기 위한 제어 장치를 포함하고, 마운트(6)는 각각의 경우에 하나의 테스트 유리 요소를 위해 회전식 스핀들(4)에 대해 편심적으로 오프셋되어 있는 적어도 하나의 리세스(7)를 가지며, 마운트(6)의 회전식 스핀들(4)을 중심으로 한 회전 이동이 제어 장치에 의해 유발될 수 있는, 테스트 유리 교환기에 있어서, 리세스들(7) 중 하나의 리세스 내에 배열된 테스트 유리 요소를 광학 측정 장치의 측정 위치로 이동시키기 위해 센터링 장치(10)가 제공되며, 센터링 장치에 의해 토크와 유지 모멘트가 마운트(6)에 인가될 수 있는 것을 특징으로 하는 테스트 유리 교환기에 관한 것이다. 또한, 본 발명은, 테스트 유리 교환기를 이용하여 테스트 유리를 교환하기 위한 방법으로서, 리세스들(7) 중 하나의 리세스 내에 배열된 테스트 유리 요소가 광학 측정 장치의 측정 위치로 이동되기 전에, 제어 장치를 이용하여 마운트(6)의 회전 이동을 유발하는 단계와, 회전 이동에 의해 테스트 유리 요소를 제1 위치로 이동시키는 단계로서, 제1 위치의 측정 위치로부터의 각거리는 리세스들(7) 사이의 각거리보다 작은, 이동 단계와, 센터링 장치(10)를 이용하여 테스트 유리 요소를 측정 위치로 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 유리 교환 방법에 관한 것이다. |
