| 摘要 |
본 발명은, 비아층으로 분리된 X-Y 평면에서 연장되는 적어도 한 쌍의 인접 피쳐층을 구비하는 다층 전자 지지 구조체에 관한 것으로, 상기 비아층은 상기 2개의 인접 피쳐층들 사이에 개제된 유전체와, X-Y 평면에 수직한 Z 방향에서 상기 쌍의 인접 피쳐층들 사이에서의 유전체를 통과하는 적어도 하나의 구조적 요소를 구비하고, 상기 적어도 하나의 구조적 요소는 X-Y 평면에서 짧은 치수의 적어도 3배 긴 X-Y 평면에서의 긴 치수를 갖는 것을 특징으로 하고, 상기 적어도 하나의 구조적 요소는 유전체 내에 완전히 캡슐화되어 주위로부터 전기적으로 절연된다. |
