发明名称 ORGANIC LAYER COMPOSITION ORGANIC LAYER AND METHOD OF FORMING PATTERNS
摘要 10% 내지 70%의 열 수축률을 가지는 제1 화합물, 상기 제1 화합물의 열 수축률보다 작은 열 수축률을 가지는 제2 화합물, 그리고 용매를 포함하는 유기막 조성물, 상기 유기막 조성물로부터 제조된 유기막, 및 상기 유기막 조성물을 사용하는 패턴형성방법에 관한 것이다. 상기 열 수축률은 하기 측정방법은 명세서 내에 기재한 바와 같다.
申请公布号 KR20160142105(A) 申请公布日期 2016.12.12
申请号 KR20150078036 申请日期 2015.06.02
申请人 삼성에스디아이 주식회사 发明人 김민수;남연희;백재열;송현지;윤벼리;정슬기;홍승희;황선민
分类号 G03F7/09;G03F7/11;G03F7/20 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
主权项
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