ORGANIC LAYER COMPOSITION ORGANIC LAYER AND METHOD OF FORMING PATTERNS
摘要
10% 내지 70%의 열 수축률을 가지는 제1 화합물, 상기 제1 화합물의 열 수축률보다 작은 열 수축률을 가지는 제2 화합물, 그리고 용매를 포함하는 유기막 조성물, 상기 유기막 조성물로부터 제조된 유기막, 및 상기 유기막 조성물을 사용하는 패턴형성방법에 관한 것이다. 상기 열 수축률은 하기 측정방법은 명세서 내에 기재한 바와 같다.