| 摘要 |
본 발명은, 가스 안내 디바이스와 가스 공급 디바이스를 포함하는 진공 챔버(10) 내의 가스 분배 장치에 관한 것으로, 상기 가스 안내 디바이스는, 노즐들(27, 37)이 구비되는 적어도 하나의 가스 덕트(25, 30)를 포함하고, 상기 노즐들로부터 가스가 진공 챔버(10) 내로 분배될 수 있으며, 그리고 상기 가스 공급 디바이스는, 상기 가스 안내 디바이스에 가스가 공급되는 것을 허용하고, 이 경우 적어도 하나의 가스 덕트(25, 30)는 단일 부품의 중공 윤곽체로서 설계되는 부품(20)에 의해 형성된다. 단일 부품의 중공 윤곽체로서 설계되는 상기 부품(20)은, 가스 공급 디바이스의 적어도 하나의 가스 공급 덕트(25a, 30a, 30e)를 또한 형성한다. |
