| 摘要 |
본 발명은 객체를 측정하기 위한 모듈에 관한 것으로, 상기 모듈은 일차 빔을 생성하도록 구성되고; 상기 모듈은 스캐닝 미러 구조물을 포함하며; 스캐닝 미러 구조물은, 일차 빔에 의해 스캐닝 동작이 수행되는 방식으로 일차 빔을 편향시키도록 구성되고; 상기 모듈은, 스캐닝 미러 구조물의 한 편향 위치에서 객체와 일차 빔의 상호작용을 통해 이차 신호가 생성될 경우 상기 이차 신호가 검출될 수 있도록 구성되고; 상기 모듈은 스캐닝 미러 구조물의 편향 위치에 따라 위치 인식 신호를 생성하도록 구성되며; 상기 모듈은 객체의 위치 지원 측정을 위한 센서 신호를 생성하기 위한 센서 어셈블리를 포함한다. |
