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发明名称 TURBO MOLECULAR PUMP
摘要
申请公布号 JPS6291695(A) 申请公布日期 1987.04.27
申请号 JP19850228606 申请日期 1985.10.16
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKAMORI KAZUAKI;AWATA YOSHIHISA
分类号 F04D19/04;F04C27/00 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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