MODIFIABLE MAGNET CONFIGURATION FOR ARC VAPORIZATION SOURCES

摘要

본 발명은 공구를 경질 표면 코팅하기 위한 아크 증발원에 관한 것이다. 본 발명에 따른 아크 증발원은 하나 이상의 전기 솔레노이드, 및 타겟 표면에 대해 이동 가능한 영구 자석 장치를 포함한다. 증발원은 산화물, 질화물 및 금속 코팅의 상이한 요구에 따라 조정될 수 있다. 증발할 타겟의 수명 동안 레이트 감소는 영구자석과 타겟 전방 면 사이의 적합한 간격 조정에 의해 일정하게 유지될 수 있거나 조절될 수 있다. 코팅 조도와 레이트 사이의 절충이 세팅될 수 있다.