一种微小光程差测量系统

摘要

一种微小光程差测量系统属于物理学领域中一种光学计量测试装置〔G01J9/00〕，它是利用光拍相位变化来测量微小光程差的一种光电系统。本发明采用含有电光移相器的双臂可调程平行光路作为二不同频率光的非共程光路，选用了具有较佳性能参数的双频激光，因而使系统可测量1～一个光波长范围的微小位移；也可测量具有微小折射率变化或微小变形的透明体在1～一个光波长范围的微小光程变化，并可给出程差变化过程或其分布。

主权项

1.一种微小光程差测量系统，是由双频激光源，共程光路，非共程光路，光混频器和信号处理系统组成。其特征在于：光源选用光频稳定度在1×10-8～5×10-11之间，频差值在30KHz～150KHz之间，差频稳定度在1×10-4～1×10-6之间的双稳频双频激光源，非共程光路采用双臂可调程平行光路结构，并在此光路中置入电光移相器和光程补偿器。