激光加工装置

摘要

本发明提供一种激光加工装置，能够抑制在激光加工时产生的碎片附着在吸尘构件的吸引路。激光加工装置的特征在于，具有加工头（36），该加工头（36）用于对被加工物照射激光光束，加工头包括：吸尘构件（70），其配置于聚光透镜（39）和被加工物之间，对由聚光透镜聚光后的激光光束照射到被加工物而产生的碎片进行收集，吸尘构件具有吸引路（78），该吸引路（78）的一端与吸引源连接，而另一端则朝被加工物的上表面开口，激光加工装置还具有清洗液供给构件（82），该清洗液供给构件（82）用于将清洗液供给到吸引路。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，具有：保持构件，其用于保持被加工物；以及激光光束照射构件，其包括：激光光束振荡构件；和将上述激光光束振荡构件振荡出的激光光束照射到被加工物的加工头，该激光光束照射构件对保持在上述保持构件的被加工物实施烧蚀加工，上述加工头包括：聚光透镜，其用于对从上述激光光束振荡构件振荡出的激光光束进行聚光；以及吸尘构件，其配置于上述聚光透镜和被加工物之间，对由上述聚光透镜聚光后的激光光束照射到被加工物而产生的碎片进行收集，上述吸尘构件具有吸引路，该吸引路的一端与吸引源连接，而另一端则向保持于上述保持构件的被加工物的上表面开口，上述激光加工装置还具有清洗液供给构件，该清洗液供给构件用于将用于清洗上述吸引路的清洗液供给到该吸引路。