| 摘要 |
본 발명은 열화상 감지 센서를 이용한 반도체 또는 디스플레이 제조설비의 화재 모니터링 장치에 관한 것으로서, 반도체 또는 디스플레이 제조설비에 전력을 공급하는 전력공급장치의 발열을 열화상 센서를 이용하여 감지함으로써 전력공급장치에서 발생되는 발열을 실시간으로 모니터링하여 화재를 미연에 방지할 수 있는 열화상 감지 센서를 이용한 반도체 또는 디스플레이 제조설비의 화재 모니터링 장치에 관한 것이다. 이를 위해 반도체 또는 디스플레이 제조 공정을 수행하는 공정장치,공정장치에 전력을 공급하는 전력공급장치, 전력공급장치 중 적어도 어느 하나의 장치에 발열이 발생되는 영역을 기 설정하여 열을 센싱함으로써 열화상 감지신호를 생성하는 열화상 감지 센서, 및 열화상 감지신호를 네트워크 또는 시리얼 통신을 통해 입력받아 기 설정된 온도와 비교함으로써 열화상 감지 카메라가 설치된 영역의 화재를 모니터링하는 모니터링 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 열화상 감지 센서를 이용한 반도체 또는 디스플레이 제조설비의 화재 모니터링 장치가 개시된다. |
