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멀티 단자 배선 패턴에 대하여 검사 횟수를 저감한 검사 방법을 제공된다. 기판 검사 방법은, 각 단위 기판이 복수의 멀티 단자 배선 패턴을 가지고, 2개 이상의 단위 기판의 배선 패턴을 전기 검사를 실시하기 위한 기판 검사 장치에 접속시킴으로써, 상기 배선 패턴의 양부를 판정하여, 복수의 단위 기판을 포함하는 시트 기판의 배선 패턴을 검사하는 방법이다. 상기 방법은 하나의 단위 기판에 형성되는 검사 대상으로 되는 하나의 배선 패턴과, 하나의 배선 패턴과 동일하게 형성되는 다른 단위 기판에 형성되는 다른 배선 패턴을 선출하는 단계와, 하나의 배선 패턴과 다른 배선 패턴을 단락시키기 위해서, 하나의 배선 패턴의 임의의 단자와, 다른 배선 패턴의 임의의 단자를 전기적으로 접속시키는 단계와, 하나의 배선 패턴의 임의의 단자 이외의 단자와, 다른 배선 패턴의 임의의 단자 이외의 단자간의 도통 검사를 실시하는 단계를 포함한다. |
