| 摘要 |
본 발명은 웨이퍼 처리 시스템에 관한 것으로, 웨이퍼를 보유한 상태로 정해진 제1경로와 제2경로 중 어느 하나 이상을 따라 이동하는 웨이퍼 캐리어와; 상기 제1경로상에 배치된 제1처리정반과; 상기 제2경로상에 배치된 제2처리정반을; 포함하여 구성되어, 상기 웨이퍼 캐리어에 의하여 운반된 상기 웨이퍼에 대하여 상기 제1처리정반과 상기 제2처리정반 중 어느 하나 이상에서 처리 공정이 행해짐으로써, 연속적으로 웨이퍼 캐리어를 처리 정반으로 공급하여 단위 시간 당 높은 효율로 처리 공정을 행할 수 있는 웨이퍼 처리 시스템을 제공한다. |
