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发明名称 MICROSCOPE ILLUMINATOR
摘要
申请公布号 JPS6349720(A) 申请公布日期 1988.03.02
申请号 JP19860192804 申请日期 1986.08.20
申请人 CANON INC 发明人 SHIBA OSAMU;HARA KAZUHIKO
分类号 G01B11/00;G02B21/06;H01L21/66 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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