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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6367745(A) 申请公布日期 1988.03.26
申请号 JP19860213144 申请日期 1986.09.09
申请人 NEC CORP 发明人 GOTO JUNICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/76 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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