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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6325508(B2)	申请公布日期	1988.05.25
申请号	JP19800156058	申请日期	1980.11.07
申请人	INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP	发明人	INGURITSUDO EMESU MAGUDOO
分类号	H01L29/73;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/3215;H01L21/331;H01L29/08	主分类号	H01L29/73
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