ＬＩＴでホットスポットを解像するための方法およびシステム

摘要

ロックインサーモグラフィ（ＬＩＴ）による、多層被検査デバイス（ＤＵＴ）における下層から上層まで異なる深度の層に埋没している電気回路の複数のホットスポットの位置特定は、前記ホットスポットを励起するために前記ＤＵＴの前記電気回路に多重周波数の検査信号を印加し、前記検査信号を前記電気回路に印加しながら、前記ＤＵＴの前記上層の上面を時限間隔で撮影することで、前記ＤＵＴにおける前記ホットスポットからの熱の伝搬に相関する前記ＤＵＴのＩＲ画像を取得し、前記ＤＵＴから取得された前記画像から前記時限間隔で熱応答信号を検出し、前記熱応答信号の周波数に関連して前記ＤＵＴの前記上面におけるホットスポット画像の発現における変化を特定することにより行われる。