レーザ微細加工方法および装置

摘要

【解決手段】本発明は、その一態様によれば、所定の材料でできた試料のレーザ微細加工用の装置（６０）に関し、所定の入射ビームから非回折ビームの生成を可能にし、前記非回折ビームが集光モジュールの光軸に概ね沿って配向される集束シリンダに沿って集光される集光モジュールと、前記集光モジュールが試料中に集光した後に前記試料の体積中の前記集束シリンダの側面に位置する多光子吸収による自由電荷のプラズマの生成に適した少なくとも一つの第１光パルス（１１）を透過させる手段（６０１）と、を含む。【選択図】図６