| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0193143(A) |
申请公布日期 |
1989.04.12 |
| 申请号 |
JP19870251319 |
申请日期 |
1987.10.05 |
| 申请人 |
NIPPON DENSO CO LTD |
发明人 |
YOSHIHARA SHINJI;FUJII TETSUO;KUROYANAGI AKIRA;AZEYANAGI SUSUMU;FUNAHASHI TOMOHIRO;SAKAI MINEICHI |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/76;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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