发明名称 THIN FILM PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH0196522(A) 申请公布日期 1989.04.14
申请号 JP19870254460 申请日期 1987.10.07
申请人 KOMATSU LTD 发明人 SUZUKI ASATAKE;KAMAIKE MAKOTO;TABATA AKI;INAGAKI HIROSHI;TACHIKA ATSUSHI
分类号 H01L29/84;G01L9/00;G01L9/04 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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