| 摘要 |
[과제] 간소한 구성으로 기판을 브레이크시키는 것이 가능한 브레이크 장치, 브레이크 시스템 및 브레이크 유닛을 제공한다. [해결 수단] 브레이크 장치(12)는, 2개의 브레이크 유닛(12a)을 구비하고, 2개의 브레이크 유닛(12a)은, 기판(G1)을 개재해서 서로 대향하여 배치되어 있다. 2개의 브레이크 유닛(12a)은, 각각, 기판(G1)의 스크라이브 라인을 따라서 뻗는 브레이크 바(107)와, 브레이크 바(107)를 기판(G1)에 접근시키는 방향 및 기판(G1)으로부터 멀어지는 방향으로 이동시키는 모터 및 볼 나사와, 브레이크 바(107)를 사이에 두는 위치에 배치된 2개의 받침부(106a)와, 2개의 받침부(106a)를 기판(G1)에 접근시키는 방향 및 기판(G1)으로부터 멀어지는 방향으로 이동시키는 실린더(103)를 구비한다. |
