| 摘要 |
기판 중계 장치(200)는, 인접하는 반송 장치의 측벽을 따라 형성된 개구(144)를 둘러싸도록 설치되고, 각 반송 장치의 측벽에 끼워지는 폭방향의 사이즈를 적어도 기판 사이즈보다 작게 한 케이스(202)와, 케이스(202) 안에서 상기 인접하는 반송 장치의 측벽을 따라 개구(144)에 대하여 개폐할 수 있게 설치된 게이트 밸브(201)와, 게이트 밸브(201)의 양측에 설치되고, 이 게이트 밸브를 가로질러 웨이퍼(W)를 지지하는 지지 핀(250)을 구비한다. |
