| 摘要 |
[과제] 주위의 환경을 오염시키지 않고 도포 균일성에 우수한 펠리클 프레임의 통기공 내벽에 점착제를 도포하는 방법을 제공한다. [해결 수단] 통기공을 갖는 펠리클 프레임의 외측면이 수평 또는 45도 이하로 경사지도록 프레임을 유지하고, 유기 용매에 의해 10질량% 이하로 희석된 점착제를 상기 통기공을 향하여 적하하는 펠리클 프레임의 통기공 내벽에 점착제를 도포하는 방법으로서, 상기 유기 용매가 초산 에틸과 헥산을 그 혼합비가 3:7~5:5인 범위로 혼합하여 이루어진 혼합 용매인 것을 특징으로 한다. |
