| 发明名称 |
APPARATUS FOR COATING SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01142081(A) |
申请公布日期 |
1989.06.02 |
| 申请号 |
JP19880259613 |
申请日期 |
1988.10.17 |
| 申请人 |
LEYBOLD AG |
发明人 |
FURIIDORITSUHI ANDERURE;DAN RUSHIAN KOSUTESUKU;SHIYUTEFUAN KENPUFU;EMERITSUHI NOBUAKU;YAROSURAFU TSUEIDA |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/687 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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