一种高效率的进片与抽气装置

摘要

本发明公开了一种高效率的进片与抽气装置，包括一用于传送工件的传送台，所述传送台上设置有真空过渡室，所述真空过渡室设置在传送台的传送方向上，所述真空过渡室的进料口处活动设置有一门阀，所述传送台的中间位置设置有一组以上的对射传感器，这样当基板从大气传送台向真空过渡室行进过程中，当基板到达中间位置时，新增加的传感器感应到信号消息，控制系统得到这一信号消息并反馈给真空过渡室进行如下并行动作，真空泵抽气阀迅速关闭，同时放气阀开启，开始破真空并传递信号给门阀，破空完成后门阀即时开启，基板高速进入真空过渡室，这样大大的节省了基板从传送台进入到真空过渡室的时间，提高了进片效率。

主权项

一种高效率的进片与抽气装置，其特征在于:包括一用于传送工件的传送台（1），所述传送台（1）上设置有真空过渡室（2），所述真空过渡室（2）设置在传送台（1）的传送方向上，所述真空过渡室（2）的进料口处活动设置有一门阀（3），所述传送台（1）的中间位置设置有一组以上的对射传感器（4）。