发明名称 COMPOSITION FOR NANOIMPRINT CURED PRODUCT PATTERN FORMING METHOD AND ARTICLE HAVING PATTERN
摘要 시클로올레핀계 공중합체와, 중합성 단량체와, 광 개시제를 함유하는 것을 특징으로 하는 나노임프린트용 조성물. 본 발명에 있어서 상기 중합성 단량체는, 다관능 모노머를 포함하는 것이 바람직하다. 상기 시클로올레핀계 공중합체는, 고리형 올레핀을 갖는 구성 단위와, 비고리형 올레핀의 구성 단위를 포함하는 것이 바람직하다.
申请公布号 KR20160147656(A) 申请公布日期 2016.12.23
申请号 KR20160070920 申请日期 2016.06.08
申请人 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 发明人 시마타니 사토시
分类号 G03F7/004;G03F7/00;G03F7/028;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/78 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
地址