FORMING METHOD FOR SUPERSTRUCTURE THIN FILM,申请号JP19880041981-传众专利搜索

发明名称	FORMING METHOD FOR SUPERSTRUCTURE THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH01217904(A)	申请公布日期	1989.08.31
申请号	JP19880041981	申请日期	1988.02.26
申请人	HITACHI LTD	发明人	MATSUBARA SUNAO;MURAMATSU SHINICHI;ITO HARUO;SHIMADA JUICHI
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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